新闻动态  
展会信息  
行业动态  
产品展示
关于我们
新闻中心
  产品展示
 
  联系我们
 
 
> 首页 > 新闻中心
感谢厦门三安光电(三安集成电路有限公司)选购上海梭伦接触角测量仪

 感谢厦门三安光电(三安集成电路)选购上海梭伦接触角测量仪。

三安光电

厦门市三安集成电路有限公司位于厦门市火炬(翔安)高新技术开发区内,项目总规划用地281亩,总投资额30亿元,本项目为福建省2014-2018重大工业项目、厦门市2015年重点项目,属于国家扶持的战略性新兴产业,新建砷化镓和氮化镓外延片生产线,以及适用于专业通讯微电子器件市场的砷化镓高速半导体芯片与氮化镓高功率半导体芯片生产线。于2015年10月开始进行试产,量产后将成为中国具备规模化研发、生产化合物半导体芯片能力的公司。

三安集成电路

接触角测量仪应用于集成电路

半导体芯片行业特别是晶圆制程中对于清净度的要求非常高,只有符合要求的晶圆才可视为合格品。作为测试等离子清洗效果评估的唯一手段,水滴角测量仪是评估晶圆品质的最有效的工具。2018年以来,中国的芯片行业得到了迅速发展,因而,对于水滴角的测试提出了更高要求。

芯片晶圆水滴角测值图谱

水滴角测量仪测试超亲水接触角值

根据水滴角测试基本原理:固体样品表面因本身存在的表面粗糙度、化学多样性、异构性的等因素,固体表面的接触角值或水滴角值均体现为左、右、前、后的不一致;因而,水滴角的测量仪器的算法必须采用符合界面化学的基本原理并能够实现 3D水滴角测量的阿莎算法(ADSA-RealDrop)。同时,硬件方面必须具备微米级控制精度的独立控制的二维水平调整台和微米级控制精度的独立控制的二维水平调整机构。

测试芯片半导体的应用过程的技术要求:

1、由于芯片纳米级的工艺,如12纳米或7纳米制程时,且结构是多样的,方向是多样的,因而,异构性以芯片或晶圆制程中尤其突出。进而,必须要求水滴角测量仪能够基于阿莎算法并充分利用阿莎算法的敏感度高的优点。

2、水滴角测量仪的应用物性要求能够敏感的捕捉到微滴(尽量为1uL以内,采用超细针头)小范围内的左、右、前、后由于清洁度效果不好导致的角度的微小变化。如上图所示,角度值第一个时明显的出现了左、右角度值的偏差,说明样品表面是不干净的。而第二张水滴角的角度图片则显示左、右角度值接近度比较高,清洁度比较好。

综合如上,我们可以发现,对于芯片或晶圆制程来讲,水滴角的应用除了用于测试等离子清洗(Plasma)的效果外,还有一个更为重要的应用是评估何种情况下,晶圆的粘附力或表面自由能是最合理的。而特别是后者的应用,目前来讲,中国的芯片制造厂还没有像国外的生产厂那个引起足够的重视。

厦门市三安集成电路有限公司位于厦门市火炬(翔安)高新技术开发区内,项目总规划用地281亩
 
,总投资额30亿元,本项目为福建省2014-2018重大工业项目、厦门市2015年重点项目,属于国家扶持的战略性新兴产业,新建砷化镓和氮化镓外延片生产线,以及适用于专业通讯微电子器件市场的砷化镓高速半导体芯片与氮化镓高功率半导体芯片生产线。于2015年10月开始进行试产,量产后将成为中国具备规模化研发、生产化合物半导体芯片能力的公司。
厦门市三安集成电路有限公司位于厦门市火炬(翔安)高新技术开发区内,项目总规划用地281亩,总投资额30亿元,本项目为福建省2014-2018重大工业项目、厦门市2015年重点项目,属于国家扶持的战略性新兴产业,新建砷化镓和氮化镓外延片生产线,以及适用于专业通讯微电子器件市场的砷化镓高速半导体芯片与氮化镓高功率半导体芯片生产线。于2015年10月开始进行试产,量产后将成为中国具备规模化研发、生产化合物半导体芯片能力的公司。
 
   
首页 / 新闻中心 / 产品展示 / 技术文章 / 下载中心 / 关于我们 / 客户留言 / 人才招聘 / 联系我们


版权所有 2005-2015 上海梭伦信息科技有限公司 电话:400 005 5117(我,我要仪器),021-51036075,
sales@surface-science.com.cn 保留一切权利

上海梭伦信息科技有限公司(www.surface-science.com.cn)专业提供:基于阿莎算法(ADSA-Realdrop)原理的视频光学接触角测量仪、
水滴角测量仪、 接触角仪、接触角测定仪、 表面张力仪、界面力仪以及TOF芯片、模组及TOF相机。上海梭伦为美国科诺中国战略投资公司,
上海市高新技术企业, 拥有20多项接触角测量仪和表面张力仪的专利技术。上海梭伦以技术领先行业,以服务铸就品牌

Keywords: 表面张力仪 接触角测量仪 界面张力仪 水滴角测量仪

表面张力,接触角,界面张力